SPUTTER visoke čistoće s čistim ciljevima molibdena za TFT-LCD
Pregled proizvoda
Naši čisti ** ciljevi raspršivanja molibdena ** su industrijski standard za odlaganje kritičnih provodljivih slojeva u tanko-filmu tranzistor tekućim kristalima (TFT-LCD). Izvedba modernog zaslona visoke rezolucije ovisi o kvaliteti ovih ispršenih filmova o molibdenu, koji djeluju kao kapiju, izvor i odvodne elektrode za milijune pojedinačnih piksela. Mi proizvodimo ciljeve s ultra-visokom čistoćom i savršeno kontroliranom mikrostrukturom, osiguravajući stabilan postupak raspršivanja i filmove s izvrsnim električnim svojstvima. To dovodi do zaslona s oštrijim slikama, bržim vremenima odziva i većoj pouzdanosti. Pružamo planarne i rotacijske ciljeve za sve veličine proizvodnje proizvodnje zaslona, od G3 do G8,5 i šire. Naša posvećenost izvrsnosti u ** Molybdenum izmišljena ** dijelovi čine nas pouzdanim partnerom vodećih svjetskih proizvođača zaslona.
Tehničke specifikacije
Naši su ciljevi projektirani tako da premaše zahtjevne specifikacije industrije ravnih ploča.
| Property |
Specification |
| Purity |
≥99.95% (3N5) |
| Density |
>10.15 g/cm³ |
| Grain Size |
< 100 µm |
| Target Type |
Planar and Rotary available |
Dostupne planarne ciljne veličine prema liniji Generation:
| Generation |
Typical Target Size (mm) |
| G8.5 |
2650 x 210 x 18 |
| G7 |
2300 x 200 x 16 |
| G6 |
1950 x 200 x 16 |
| G5.5/5 |
1950 x 1580 x 14 / 1700 x 1431 x 14 |
Slike proizvoda i videozapisi
(Mjesta za sliku planarnog molibdenog cilja velike generacije)
(Mjesta za videozapis koji ilustrira ulogu filmova o molibdenu u TFT-LCD pikselu)
Značajke proizvoda
- Optimizirani za proizvodnju zaslona: Naši su ciljevi posebno dizajnirani za TFT-LCD industriju, s svojstvima prilagođenim za stvaranje elektroda visokih performansi.
- Izuzetna čistoća: 3N5 (99,95%) Čistoća minimizira nečistoće koje mogu uzrokovati električne oštećenja u tranzistorima tankog filma, osiguravajući visoke prinose uređaja.
- Fina, ujednačena mikrostruktura: Mala, konzistentna veličina zrna dovodi do ujednačene erozije tijekom prskanja, pružajući stabilnu brzinu taloženja i konzistentnu debljinu filma na velikim staklenim supstratima.
- Visoka gustoća: gustoća veća od 10,15 g/cm³ osigurava mehaničku stabilnost cilja i sprječava probleme poput lučenja ili nadmašivanja tijekom PVD procesa.
- Pokrivenost linije pune generacije: Proizvodimo ciljeve za sve generacije proizvodnje TFT-LCD, od malih veličina istraživanja i razvoja do najvećih formata G8.5+.
Kako koristiti
Naši su ciljevi dizajnirani za bešavnu integraciju u vašu proizvodnu liniju:
- Odaberite pravi format: Odaberite između ravninskih ciljeva za standardne procese ili rotacijske ciljeve za veću upotrebu propusnosti i materijala.
- Navedite svoju generaciju veličine: pružite nam svoju liniju za stvaranje FPD -a (npr. G6, G8.5) kako bismo mogli izraditi cilj s ispravnim dimenzijama.
- Ugradite i uvjet: Ugradite sklop vezanog cilja u svoj PVD sustav i slijedite standardne protokole za kondicioniranje kako biste pripremili površinu za taloženje.
- Položaj s povjerenjem: Započnite svoj postupak prskanja proizvodnje, uvjeren da će naš cilj pružiti stabilne i ponovljive performanse.
Scenariji prijave
Primarna primjena za naše čiste ** molibdenske ciljeve prskanja ** je taloženje metalnih slojeva u:
- TFT-LCDS: za elektrode vrata koje kontroliraju protok struje u svakom pikselskom tranzistoru.
- OLED zasloni: Za tranzistore stražnje ravnine koji pokreću pojedinačne organske diode koje emitiraju svjetlost.
- Dodirnite ploče: za stvaranje vodljivih linija mreže u nekim dizajnima senzora dodira.
- Napredna poluvodička ambalaža: Kao barijera i adhezijski sloj za međusobno povezivanje.
Prednosti za kupce
- Poboljšajte kvalitetu prikaza: Visoka kvaliteta raspršenog molibdenog filma izravno se prevodi na zaslone s boljom oštrinom, bržim odzivom i manje oštećenja piksela.
- Povećajte prinos proizvodnje: Naši ciljevi visoke stabilnosti niske čestica smanjuju nedostatke na staklenoj ploči, što dovodi do većeg prinosa prodajnih zaslona.
- Smanjite troškove vlasništva: Dugi život i visoke stope korištenja naših ciljeva (posebno rotacijski) smanjuju učestalost zastoja sustava i ukupni trošak po ploči.
- Partner s stručnjakom za materijale: Naša stručnost nije ograničena na zaslone. Također proizvodimo ** teške legure volframa ** za ** oklopne dijelove ** i razvijamo sljedeću generaciju ** 3D ispis metalnih praha **.
Potvrde i usklađenost
Naša proizvodnja je certificirana za ISO 9001. Dajemo cijeli potvrdu o analizi sa svakim ciljem, jamčeći njegovu čistoću, gustoću i dimenzije. Zalažemo se za lanac opskrbe bez sukoba, počevši od naših partnera ** za rudarstvo volframa ** i molibden.
Opcije prilagodbe
Možemo pružiti prilagođene ciljeve raspršivanja molibdena ** kako bismo ispunili jedinstvene zahtjeve. To uključuje prilagođene veličine za nestandardne supstrate, veće razine čistoće (npr. 4N, 5N) za istraživanje i razvoj i razvoj ciljeva iz legura molibdena za uređaje sljedeće generacije.
Proizvodni proces
Naš produkcijski proces je izlog napredne metalurgije. Započinjemo s 99,95% čistim molibdenskim prahom, koji je konsolidiran i sinterirano u ploču visoke gustoće. Ta se ploča tada provodi opsežno vruće i hladno kotrljanje kako bi se postigla željena debljina i stvorila finu, homogenu strukturu zrna. Konačno, valjana ploča je precizno obrađena do točnih dimenzija cilja, očišćena i vezana na potpornu ploču prije nego što se vakuum zapečate za otpremu.
Kupci svjedočenja i recenzije
"Ujednačenost filmova koje dobivamo od ovih ciljeva je najbolje što smo vidjeli. To nam je omogućilo da pooštrimo svoj prozor procesa i poboljšamo svoj ukupni prinos." - stariji inženjer procesa, proizvođač LCD -a
"Koristimo njihove rotacijske ciljeve u našoj proizvodnoj liniji velikog količine. Dugi život i visoka iskorištenost materijala pružili su značajnu uštedu troškova." - tvornički menadžer, tvrtka za prikaz tehnologije
FAQ
- 1. na što se odnosi "generacija" (npr. G6, G8.5) tvornice zaslona?
- "Generacija" se odnosi na veličinu staklene supstrata koju tvornički obrađuje. Tvornica G8.5 koristi vrlo velike staklene listove (približno 2200 mm x 2500 mm), iz kojih su rezani mnogi pojedinačni prikazi. Cilj prskanja mora biti dovoljno velik da bi cijelo ovo područje jednoliko premazao.
- 2. Zašto se molibden koristi umjesto aluminija za elektrode?
- Molibden ima mnogo veću točku taljenja i bolju toplinsku stabilnost od aluminija, što je važno za izdržavanje temperatura sljedećih koraka obrade. Također ima izvrsnu prianjanje na staklo i odupire se kemikalijama etchant -a koji se koriste tijekom fotolitografije.
- 3. Kakva je korist od rotacijskog cilja nad ravninom?
- Rotacijski cilj je cilindar koji se okreće dok se raspršuje. To otkriva više površine materijala, što dovodi do mnogo veće stope korištenja (obično> 75%) u usporedbi s ravninskim ciljevima (~ 30%). To znači manje izgubljeni materijal i duže kampanje između ciljnih promjena, što je vrlo korisno u proizvodnji velikog količine.